Výtěžnost čipů v průmyslu výroby čipů úzce souvisí s velikostí a počtem částic vzduchu usazených na čipu.Dobrá organizace proudění vzduchu může odstranit částice generované ze zdrojů prachu z čistého prostoru a zajistit čistotu čistého prostoru.To znamená, že organizace proudění vzduchu v čistém prostoru hraje zásadní roli ve výnosu produkce třísek.Cíle, kterých má být dosaženo při návrhu organizace proudění vzduchu v čisté místnosti, jsou: snížit nebo odstranit vířivé proudy v proudovém poli, aby se zabránilo zadržování škodlivých částic;udržovat vhodný gradient pozitivního tlaku, aby se zabránilo křížové kontaminaci.
Podle principu čistého prostoru zahrnují síly působící na částice hmotnostní sílu, molekulární sílu, přitažlivost mezi částicemi, sílu proudění vzduchu atd.
Síla proudění vzduchu: označuje sílu proudění vzduchu způsobenou prouděním přiváděného a zpětného vzduchu, prouděním vzduchu s tepelnou konvekcí, umělým mícháním a jinými proudy vzduchu s určitou rychlostí proudění pro přenášení částic.Pro řízení technologie prostředí čistých prostor je nejdůležitějším faktorem síla proudění vzduchu.
Experimenty ukázaly, že při pohybu proudění vzduchu částice sledují proudění vzduchu téměř přesně stejnou rychlostí.Stav částic ve vzduchu je určen rozložením proudění vzduchu.Mezi hlavní účinky proudění vzduchu na vnitřní částice patří: proudění vzduchu přiváděného vzduchu (včetně primárního proudění vzduchu a sekundárního proudění vzduchu), proudění vzduchu a proudění vzduchu s tepelnou konvekcí způsobené chodícími lidmi a dopad proudění vzduchu na částice způsobené procesními operacemi a průmyslovými zařízeními.Různé způsoby přívodu vzduchu, rychlostní rozhraní, operátoři a průmyslová zařízení, vyvolané jevy atd. v čistých prostorách jsou faktory, které ovlivňují úroveň čistoty.
1. Vliv způsobu přívodu vzduchu
(1) Rychlost přívodu vzduchu
Aby bylo zajištěno rovnoměrné proudění vzduchu, musí být rychlost přívodu vzduchu v čisté místnosti s jednosměrným prouděním rovnoměrná;mrtvá zóna na povrchu přívodu vzduchu musí být malá;a pokles tlaku uvnitř hepa filtru musí být také rovnoměrný.
Rychlost přívodu vzduchu je rovnoměrná: to znamená, že nerovnoměrnost proudění vzduchu je řízena v rozmezí ±20 %.
Na povrchu přívodu vzduchu je méně mrtvého prostoru: nejen že by měla být zmenšena rovinná plocha hepa rámu, ale co je důležitější, modulární FFU by měl být použit pro zjednodušení redundantního rámu.
Aby bylo zajištěno, že proudění vzduchu je vertikální a jednosměrné, je také velmi důležitá volba tlakové ztráty filtru a je požadováno, aby tlaková ztráta ve filtru nemohla být ovlivněna.
(2) Srovnání mezi systémem FFU a systémem axiálního ventilátoru
FFU je jednotka pro přívod vzduchu s ventilátorem a hepa filtrem.Vzduch je nasáván odstředivým ventilátorem FFU a přeměňuje dynamický tlak na statický tlak ve vzduchovodu.Je vyfukován rovnoměrně hepa filtrem.Tlak přiváděného vzduchu na strop je podtlak.Při výměně filtru tak do čisté místnosti neunikne žádný prach.Experimenty ukázaly, že systém FFU je lepší než systém axiálního ventilátoru, pokud jde o rovnoměrnost výstupu vzduchu, paralelnost proudění vzduchu a index účinnosti ventilace.Je to proto, že rovnoběžnost proudění vzduchu systému FFU je lepší.Použití systému FFU může zlepšit organizaci proudění vzduchu v čisté místnosti.
(3) Vliv vlastní struktury FFU
FFU se skládá hlavně z ventilátorů, filtrů, vedení proudění vzduchu a dalších komponent.Hepa filtr je nejdůležitější zárukou čistého prostoru pro dosažení požadované čistoty požadované konstrukcí.Materiál filtru také ovlivní rovnoměrnost proudového pole.Když je k výstupu filtru přidán hrubý filtrační materiál nebo průtoková deska, lze výstupní proudové pole snadno zjednotit.
2. Vliv rychlostního rozhraní s různou čistotou
Ve stejné čisté místnosti, mezi pracovní oblastí a nepracovní oblastí s vertikálním jednosměrným prouděním, v důsledku rozdílu v rychlosti vzduchu v hepa boxu dojde na rozhraní ke smíšenému vírovému efektu a toto rozhraní se stane turbulentním zóna proudění vzduchu.Intenzita turbulence vzduchu je obzvláště silná a částice mohou být přenášeny na povrch zařízení a kontaminovat zařízení a plátky.
3. Dopad na personál a vybavení
Když je čistá místnost prázdná, charakteristiky proudění vzduchu v místnosti obecně splňují konstrukční požadavky.Jakmile zařízení vstoupí do čistého prostoru, lidé se pohybují a produkty jsou přepravovány, nevyhnutelně existují překážky pro organizaci proudění vzduchu, jako jsou ostré hroty vyčnívající ze stroje zařízení.V rozích nebo okrajích se plyn odkloní a vytvoří oblast turbulentního proudění a tekutina v této oblasti nebude snadno unášena přiváděným plynem, což způsobí znečištění.
Zároveň se bude povrch mechanického zařízení v důsledku nepřetržitého provozu zahřívat a teplotní gradient způsobí oblast přetavení v blízkosti stroje, což zvyšuje akumulaci částic v oblasti přetavení.Vysoká teplota přitom snadno způsobí únik částic.Duální efekt zesiluje celkovou vertikální vrstvu.Obtížnost kontroly čistoty potoka.Prach od operátorů v čistém prostoru se může snadno přilepit na destičky v těchto oblastech přetavení.
4. Vliv podlahy zpětného vzduchu
Když je odpor vratného vzduchu procházejícího podlahou jiný, dojde k tlakovému rozdílu, který způsobí proudění vzduchu ve směru malého odporu a nebude dosaženo rovnoměrného proudění vzduchu.Současnou oblíbenou metodou návrhu je použití zvýšené podlahy.Když je poměr otevření zvýšené podlahy 10 %, může být rychlost proudění vzduchu rovnoměrně rozložena ve vnitřní pracovní výšce.Kromě toho je třeba věnovat přísnou pozornost úklidovým pracím, aby se snížil zdroj znečištění podlahy.
5. Indukční jev
Takzvaný indukční jev se týká jevu generování proudění vzduchu v opačném směru, než je rovnoměrný proud, indukování prachu generovaného v místnosti nebo prachu v přilehlých kontaminovaných oblastech na straně proti větru, což způsobuje, že prach kontaminuje plátek.Mezi možné indukované jevy patří následující:
(1) Slepá deska
V čisté místnosti s vertikálním jednosměrným prouděním jsou kvůli spárám na stěně obecně velké slepé panely, které budou produkovat turbulentní proudění a místní zpětné proudění.
(2) Lampy
Větší dopad budou mít svítidla v čisté místnosti.Protože teplo zářivky způsobuje vzestup proudění vzduchu, zářivka se nestane turbulentní oblastí.Obecně jsou lampy v čisté místnosti navrženy ve tvaru slzy, aby se snížil dopad lamp na organizaci proudění vzduchu.
(3) Mezery mezi stěnami
Pokud jsou mezi příčkami nebo stropy mezery s různými požadavky na čistotu, může se prach z prostor s nízkými požadavky na čistotu přenášet do sousedních prostor s vysokými požadavky na čistotu.
(4) Vzdálenost mezi mechanickým zařízením a podlahou nebo stěnou
Pokud je mezera mezi mechanickým zařízením a podlahou nebo stěnou malá, dojde k odrazové turbulenci.Proto ponechejte mezeru mezi zařízením a stěnou a zvedněte plošinu stroje, abyste se vyhnuli přímému kontaktu se zemí.
Čas odeslání: List-02-2023