Výtěžek čipu ve výrobním průmyslu čipu úzce souvisí s velikostí a počtem vzduchových částic uložených na čipu. Dobrá organizace pro tok vzduchu může vzít částice generované ze zdrojů prachu pryč z čisté místnosti a zajistit čistotu čisté místnosti. To znamená, že organizace toku vzduchu v čisté místnosti hraje zásadní roli při výnosu výroby čipů. Cíle, které je třeba dosáhnout při navrhování organizace toku vzduchu v čistém pokoji, jsou: snížit nebo eliminovat vířivé proudy v průtokovém poli, aby se zabránilo zachování škodlivých částic; udržovat vhodný gradient pozitivního tlaku, aby se zabránilo křížové kontaminaci.
Podle principu čisté místnosti zahrnují síly působící na částice hmotnostní sílu, molekulární sílu, přitažlivost mezi částicemi, síla proudění vzduchu atd.
Síla proudění vzduchu: odkazuje na sílu proudění vzduchu způsobenou přívodem a návratem vzduchu, proudem vzduchu tepelné konvekce, umělým agitací a dalším proudem vzduchu s určitým průtokem pro přenášení částic. Nejdůležitějším faktorem je pro kontrolu technologie v čistém pokoji pro kontrolu technologií v oblasti životního prostředí.
Pokusy ukázaly, že při pohybu proudění vzduchu sledují částice proudění vzduchu téměř přesně stejnou rychlostí. Stav částic ve vzduchu je určen distribucí proudění vzduchu. Mezi hlavní účinky proudění vzduchu na vnitřní částice patří: proudění vzduchu vzduchu (včetně primárního proudění vzduchu a sekundárního proudění vzduchu), proudění vzduchu a proudění vzduchu způsobenému chodícími lidmi a dopad proudění vzduchu na částice způsobené procesními operacemi a průmyslovými zařízeními. Různé metody dodávky vzduchu, rychlostní rozhraní, operátoři a průmyslové vybavení, indukované jevy atd. V čistotách jsou faktory, které ovlivňují úroveň čistoty.
1. Vliv metody dodávky vzduchu
(1) Rychlost přívodu vzduchu
Aby bylo zajištěno rovnoměrné proudění vzduchu, musí být rychlost přívodu vzduchu v jednosměrném toku čisté místnosti jednotná; Mrtvá zóna na ploše přívodu vzduchu musí být malá; a pokles tlaku ve filtru HEPA musí být také jednotný.
Rychlost přívodu vzduchu je jednotná: to znamená, že nerovnoměrnost proudění vzduchu je řízena do ± 20%.
Na povrchu přítoku vzduchu je méně mrtvého prostoru: nejen by měla být zmenšena rovina rámu HEPA, ale co je důležitější, modulární FFU by se měl použít ke zjednodušení redundantního rámu.
Aby se zajistilo, že tok vzduchu je vertikální a jednosměrně, je také velmi důležitý výběr poklesu tlaku filtru a je nutné, aby tlaková ztráta ve filtru nemohla být zkreslena.
(2) Srovnání systému FFU a ventilátoru axiálního toku
FFU je přívodní jednotka vzduchu s ventilátorem a filtrem HEPA. Vzduch je nasáván odstředivým ventilátorem FFU a převádí dynamický tlak na statický tlak ve vzduchovém potrubí. Je rovnoměrně vyhozen HEPA filtrem. Tlak přítoku vzduchu na strop je negativní tlak. Při výměně filtru tímto způsobem žádný prach uniká do čisté místnosti. Experimenty ukázaly, že systém FFU je lepší než systém ventilátoru axiálního toku, pokud jde o uniformitu vzduchu, paralelismus proudění vzduchu a index účinnosti ventilace. Je to proto, že paralelismus proudění vzduchu systému FFU je lepší. Použití systému FFU může zlepšit organizaci toku vzduchu v čisté místnosti.
(3) Vliv vlastní struktury FFU
FFU se skládá hlavně z ventilátorů, filtrů, průvodců vzduchu a dalších komponent. Filtr HEPA je nejdůležitější zárukou čisté místnosti k dosažení požadované čistoty vyžadované konstrukcí. Materiál filtru také ovlivní uniformitu pole průtoku. Když je do výstupu filtru přidán hrubý filtr nebo průtoková deska, může být pole průtoku výstupního průtoku snadno vytvořeno jednotně jednotné.
2. dopad rozhraní rychlosti s různou čistotou
Ve stejné čisté místnosti, mezi pracovním prostorem a nepracovní oblastí s vertikálním jednosměrným tokem, kvůli rozdílu v rychlosti vzduchu v boxu HEPA, na rozhraní dojde ke smíšenému víru a toto rozhraní se stane turbulentním zóna proudění vzduchu. Intenzita turbulence vzduchu je obzvláště silná a částice mohou být přenášeny na povrch stroje zařízení a kontaminovat zařízení a oplatky.
3. dopad na zaměstnance a vybavení
Když je čistá místnost prázdná, vlastnosti toku vzduchu v místnosti obecně splňuje požadavky na návrh. Jakmile zařízení vstoupí do čisté místnosti, lidé se pohybují a jsou přepravovány výrobky, existují nevyhnutelně překážky do organizace pro tok vzduchu, jako jsou ostré body vyčnívající ze stroje zařízení. V rozích nebo okrajích se plyn odkloní k vytvoření turbulentní plochy průtoku a tekutina v oblasti nebude snadno unesena příchozím plynem, což způsobí znečištění.
Současně bude povrch mechanického zařízení zahříván v důsledku nepřetržitého provozu a teplotní gradient způsobí oblast reflow poblíž stroje, což zvyšuje hromadění částic v oblasti reflow. Současně vysoká teplota snadno způsobí, že částice uniknou. Duální efekt zesiluje celkovou vertikální vrstvu. Obtížnost kontroly čistoty proudu. Prach od operátorů v čisté místnosti může snadno dodržovat oplatky v těchto reflowských oblastech.
4. Vliv zpětného vzduchového podlahy
Když je odpor zpětného vzduchu procházejícího podlahou odlišný, dojde k tlakovému rozdílu, což způsobí proudění vzduchu ve směru malého odporu a tok vzduchu nebude získán. Současnou populární metodou designu je použít zvýšenou podlahu. Když je otevírací poměr zvýšené podlahy na 10%, může být rychlost proudění vzduchu rovnoměrně distribuována ve vnitřní pracovní výšce. Kromě toho by měla být věnována přísná pozornost úklidové práce na snížení zdroje znečištění na podlaze.
5. Indukční jev
Takzvaný indukční jev se týká jevu generování proudění vzduchu v opačném směru k jednotnému toku, který vyvolává prach generovaný v místnosti nebo prachu v sousedních kontaminovaných oblastech na větví, což způsobuje, že prach kontaminuje oplatku. Možné indukované jevy zahrnují následující:
(1) Slepá deska
V čisté místnosti s vertikální jednosměrný tok, díky kloubům na zdi existují obecně velké slepé panely, které budou produkovat turbulentní tok a místní zpětný tok.
(2) lampy
Osvětlovací svítidla v čisté místnosti budou mít větší dopad. Vzhledem k tomu, že teplo fluorescenční lampy způsobuje, že se proudění vzduchu zvětší, fluorescenční lampa se nestane turbulentní oblastí. Obecně jsou lampy v čisté místnosti navrženy ve tvaru slzy, aby se snížil dopad lamp na organizaci proudění vzduchu.
(3) Mezery mezi stěnami
Pokud existují mezery mezi oddílovými stěnami nebo stropy s různými požadavky na čistotu, může být do sousedních oblastí přenesen prach z oblastí s nízkými požadavky na čistotu s vysokými požadavky na čistotu.
(4) Vzdálenost mezi mechanickým zařízením a podlahou nebo stěnou
Pokud je mezera mezi mechanickým zařízením a podlahou nebo stěnou malá, dojde k odrazové turbulenci. Proto zanechte mezeru mezi zařízením a stěnou a zvedněte platformu stroje, abyste se vyhnuli přímému kontaktu se zemí.
Čas příspěvku: Nov-02-2023