Kromě přísné kontroly částic mají elektronické čisté prostory reprezentované dílnami na výrobu čipů, bezprašnými dílnami integrovaných obvodů a dílnami na výrobu disků také přísnější požadavky na kontrolu teploty a vlhkosti, osvětlení a mikrošoky.Přísně odstraňte vliv statické elektřiny na výrobní produkty, aby prostředí mohlo splňovat požadavky výrobního procesu elektronických produktů v čistém prostředí.
Teplota a vlhkost elektronické čisté místnosti by měla být stanovena podle požadavků výrobního procesu.Pokud neexistují žádné specifické požadavky na výrobní proces, teplota může být 20-26°C a relativní vlhkost 30%-70%.Teplota v čisté místnosti pro personál a v obývacím pokoji může být 16-28 ℃.Podle čínské národní normy GB-50073, která je v souladu s mezinárodními normami ISO, je úroveň čistoty tohoto typu čisté místnosti 1-9.Mezi nimi, třída 1-5, je vzor proudění vzduchu jednosměrný nebo smíšený;Typ proudění vzduchu třídy 6 je nejednosměrný proud a výměna vzduchu je 50-60krát/h;Typ proudění vzduchu třídy 7 je nejednosměrný proud a výměna vzduchu je 15-25krát/h;třída 8-9 typ proudění vzduchu je nejednosměrné proudění, výměna vzduchu je 10-15 krát/h.
Podle současných specifikací by hladina hluku v rámci třídy 10 000 elektronických čistých prostor neměla být vyšší než 65 dB(A).
1. Úplný poměr čistého prostoru s vertikálním tokem v elektronické čisté místnosti by neměl být menší než 60 % a čistý prostor s horizontálním jednosměrným tokem by neměl být menší než 40 %, jinak se bude jednat o částečný jednosměrný tok.
2. Rozdíl statického tlaku mezi elektronickým čistým prostorem a venkovním prostředím by neměl být menší než 10 Pa a rozdíl statického tlaku mezi čistými prostory a nečistými prostory s různou čistotou vzduchu by neměl být menší než 5 Pa.
3. Množství čerstvého vzduchu v elektronické čisté místnosti třídy 10000 by mělo mít hodnotu následujících dvou položek.
4. Kompenzujte součet vnitřního objemu odpadního vzduchu a objemu čerstvého vzduchu potřebného k udržení hodnoty vnitřního přetlaku.
5. Zajistěte, aby množství čerstvého vzduchu dodávaného do čisté místnosti na osobu a hodinu nebylo menší než 40 metrů čtverečních.
Čas odeslání: duben-08-2024