Rychlost výnosu čipu ve výrobním průmyslu IC úzce souvisí s velikostí a počtem vzduchových částic uložených na čipu. Dobrá organizace proudění vzduchu může vzít částice generované zdrojem prachu daleko od čisté místnosti, aby zajistila čistota čisté místnosti, tj. Organizace proudění vzduchu v čisté místnosti hraje zásadní roli při výnosové rychlosti produkce IC. Konstrukce organizace proudění vzduchu v čisté místnosti musí dosáhnout následujících cílů: Snižte nebo eliminujte vířivý proud v poli toku, aby se zabránilo zachování škodlivých částic; Udržujte vhodný gradient pozitivního tlaku, aby se zabránilo křížové kontaminaci.
Síla proudění vzduchu
Podle principu čisté místnosti síly působící na částice zahrnují hmotnostní sílu, molekulární sílu, přitažlivost mezi částicemi, síla proudění vzduchu atd.
Síla proudění vzduchu: odkazuje na sílu proudění vzduchu způsobenou dodávkou, návratem vzduchu, proudem vzduchu tepelné konvekce, umělým mícháním a dalším proudem vzduchu s určitým průtokem, který přenáší částice. Pro technickou kontrolu prostředí v čistém pokoji je nejdůležitějším faktorem síla proudění vzduchu.
Pokusy ukázaly, že při pohybu proudění vzduchu částice sledují pohyb proudění vzduchu téměř stejnou rychlostí. Stav částic ve vzduchu je určen distribucí proudění vzduchu. Mezi toky vzduchu, které ovlivňují vnitřní částice, patří hlavně: proudění vzduchu vzduchu (včetně primárního proudění vzduchu a sekundárního proudění vzduchu), proudění vzduchu a tepelný konvekční proudění způsobené chodícími lidmi a proudění vzduchu způsobeného procesním provozem a průmyslovými zařízeními. Různé metody přívodu vzduchu, rychlostní rozhraní, operátoři a průmyslové vybavení a indukované jevy v čistých místnostech jsou faktory ovlivňující úroveň čistoty.
Faktory ovlivňující organizaci proudění vzduchu
1. Vliv metody dodávky vzduchu
(1). Rychlost přívodu vzduchu
Pro zajištění rovnoměrného proudění vzduchu musí být rychlost vzduchu jednotná v jednosměrné čisté místnosti; Mrtvá zóna povrchu vzduchu musí být malá; a pokles tlaku v ULPA musí být také jednotný.
Rovnoměrná rychlost přívodu vzduchu: To znamená, že nerovnoměrnost proudu vzduchu je ovládána do ± 20%.
Méně mrtvá zóna na ploše přívodu vzduchu: Nejen, že by měla být zmenšena plocha rovinného rámu ULPA, ale co je důležitější, by měl být přijat modulární FFU, aby se zjednodušil redundantní rám.
Pro zajištění vertikálního jednosměrného proudění vzduchu je také velmi důležitý výběr tlaku filtru, což vyžaduje, aby se ztráta tlaku ve filtru nemohla odchýlit.
(2). Porovnání systému FFU a systému ventilátoru axiálního toku
FFU je vzduchová jednotka s ventilátorem a filtrem (ULPA). Poté, co je vzduch nasáván odstředivým ventilátorem FFU, je dynamický tlak přeměněn na statický tlak ve vzduchovém potrubí a rovnoměrně vyfouknut ULPA. Tlak přítoku vzduchu na strop je negativní tlak, takže při výměně filtru nebude do čisté místnosti uniknout žádný prach. Experimenty ukázaly, že systém FFU je lepší než systém ventilátoru axiálního toku, pokud jde o uniformitu výstupu vzduchu, paralelismus proudění vzduchu a index účinnosti ventilace. Je to proto, že paralelismus proudění vzduchu systému FFU je lepší. Použití systému FFU může zorganizovat proudění vzduchu v čisté místnosti.
(3). Vliv vlastní struktury FFU
FFU se skládá hlavně z ventilátorů, filtrů, vodicích zařízení a dalších komponent. Ultra vysoký filtr ULPA je nejdůležitější zárukou toho, zda čistá místnost může dosáhnout požadované čistoty designu. Materiál filtru také ovlivní uniformitu pole průtoku. Když se do výstupu filtru přidá hrubý filtrační materiál nebo laminární průtokovou desku, může být pole průtoku výstupního toku snadno jednotně jednotné.
2. dopad různých rychlostních rozhraní čistoty
Ve stejné čisté místnosti, mezi pracovní oblastí a nepracovní oblastí vertikálního jednosměrného toku, kvůli rozdílu rychlosti vzduchu na výstupu ULPA, bude na rozhraní generován smíšený vírový efekt a toto rozhraní se stane turbulentním Zóna vzduchu s zvláště vysokou intenzitou turbulence vzduchu. Částice mohou být přenášeny na povrch zařízení a kontaminovat zařízení a oplatky.
3. dopad personálu a vybavení
Když je čistá místnost prázdná, vlastnosti toku vzduchu v místnosti obecně splňuje požadavky na návrh. Jakmile zařízení vstoupí do čisté místnosti, přenášení personálu a výrobky se nevyhnutelně objeví překážky organizaci toku vzduchu. Například v vyčnívajících rozích nebo okrajích zařízení bude plyn odkloněn tak, aby vytvořil turbulentní zónu, a tekutina v zóně není snadno odnesena plynem, což způsobuje znečištění. Současně se povrch zařízení zahřeje v důsledku nepřetržitého provozu a teplotní gradient způsobí refrow zónu poblíž stroje, což zvýší akumulaci částic v reflow zóně. Současně vysoká teplota snadno způsobí, že částice uniknou. Duální účinek zhoršuje obtíž při řízení celkové vertikální čistoty lamináru. Prach od operátorů v čisté místnosti je velmi snadné dodržovat oplatky v těchto zónách reflow.
4. Vliv zpětného vzduchového podlahy
Když je odpor returčního vzduchu procházejícího podlahou odlišný, bude vytvořen tlakový rozdíl, takže vzduch bude proudit ve směru menšího odporu a rovnoměrný průtok vzduchu nebude získán. Současnou populární metodou designu je použití vyvýšených podlah. Když je rychlost otevření zvýšených podlah 10%, může být rovnoměrně distribuována rychlost proudění vzduchu v pracovní výšce místnosti. Kromě toho by měla být věnována přísná pozornost úklidové práce na snížení zdroje znečištění podlahy.
5. Indukční jev
Takzvaný indukční jev odkazuje na jev, že proudění vzduchu v opačném směru jednotného toku je generován a prach generovaný v místnosti nebo prach v sousední kontaminované oblasti je vyvolán na nadvažovou stranu, takže prach je tak, že prach může kontaminovat čip. Následuje možné indukční jevy:
(1). Slepá deska
V čisté místnosti s vertikálním jednosměrným tokem, kvůli kloubům na zdi existují obecně velké slepé desky, které budou generovat turbulenci v místním návratovém toku.
(2). Lampy
Osvětlovací svítidla v čisté místnosti budou mít větší dopad. Vzhledem k tomu, že teplo zářivkových lamp způsobuje, že se proudění vzduchu zvýší, pod zářivkovými lampami nebude žádná turbulentní oblast. Obecně jsou lampy v čisté místnosti navrženy ve tvaru slzy, aby se snížil dopad lamp na organizaci proudění vzduchu.
(3.) Mezery mezi stěnami
Pokud existují mezery mezi oddíly s různými úrovněmi čistoty nebo mezi oddíly a stropy, může být do sousední oblasti přenesen prach z oblasti s nízkými požadavky na čistotu s vysokými požadavky na čistotu.
(4). Vzdálenost mezi strojem a podlahou nebo stěnou
Pokud je mezera mezi strojem a podlahou nebo stěnou velmi malá, způsobí to odrazovou turbulenci. Proto zanechte mezeru mezi zařízením a stěnou a zvedněte stroj, abyste se vyhnuli tomu, aby se stroj nechal přímo dotknout země.
Čas příspěvku: únor-05-2025