Ochraně životního prostředí je věnována stále větší pozornost, zejména s přibývajícím mlžným počasím. Technika čistých prostor je jedním z opatření na ochranu životního prostředí. Jak využít inženýrství čistých prostor k odvedení dobré práce v ochraně životního prostředí? Pojďme se bavit o ovládání v inženýrství čistých prostor.
Regulace teploty a vlhkosti v čisté místnosti
Teplota a vlhkost čistých prostor se určuje především na základě procesních požadavků, ale při plnění procesních požadavků je třeba vzít v úvahu lidské pohodlí. Se zlepšováním požadavků na čistotu vzduchu dochází k trendu zpřísňování požadavků na teplotu a vlhkost v procesu.
Obecně platí, že v důsledku zvyšující se přesnosti zpracování se požadavky na rozsah kolísání teplot stále zmenšují. Například v litografii a expozičním procesu výroby integrovaných obvodů ve velkém měřítku se rozdíl v koeficientu tepelné roztažnosti mezi skleněnými a křemíkovými pláty používanými jako materiály masky stále zmenšuje.
Křemíkový plátek o průměru 100 μm způsobí lineární expanzi o 0,24 μm při zvýšení teploty o 1 stupeň. Proto je nezbytná konstantní teplota ± 0,1 ℃ a hodnota vlhkosti je obecně nízká, protože po zpocení bude produkt kontaminován, zejména v polovodičových dílnách, které se bojí sodíku. Tento typ dílny by neměl překročit 25℃.
Nadměrná vlhkost způsobuje více problémů. Když relativní vlhkost překročí 55 %, bude se na stěně potrubí chladicí vody tvořit kondenzace. Pokud se vyskytuje v přesných zařízeních nebo obvodech, může způsobit různé nehody. Když je relativní vlhkost 50 %, snadno zreziví. Kromě toho, když je vlhkost příliš vysoká, prach ulpívající na povrchu křemíkového plátku bude chemicky adsorbován na povrchu prostřednictvím molekul vody ve vzduchu, což je obtížné odstranit.
Čím vyšší je relativní vlhkost, tím obtížnější je odstranit adhezi. Když je však relativní vlhkost nižší než 30 %, částice se také snadno adsorbují na povrch působením elektrostatické síly a velké množství polovodičových součástek je náchylných k poruše. Optimální teplotní rozsah pro výrobu křemíkových plátků je 35-45%.
Tlak vzduchuřízenív čisté místnosti
Pro většinu čistých prostor, aby se zabránilo vniknutí vnějšího znečištění, je nutné udržovat vnitřní tlak (statický tlak) vyšší než vnější tlak (statický tlak). Udržování tlakového rozdílu by mělo obecně splňovat následující zásady:
1. Tlak v čistých prostorách by měl být vyšší než v nečistých prostorách.
2. Tlak v prostorech s vysokou úrovní čistoty by měl být vyšší než v přilehlých prostorách s nízkou úrovní čistoty.
3. Dveře mezi čistými prostory by měly být otevřeny směrem k místnostem s vysokou úrovní čistoty.
Udržení tlakového rozdílu závisí na množství čerstvého vzduchu, který by měl být schopen vyrovnat únik vzduchu z mezery pod tímto tlakovým rozdílem. Fyzikální význam tlakového rozdílu je tedy odpor unikajícího (nebo infiltračního) proudění vzduchu různými mezerami v čistém prostoru.
Čas odeslání: 21. července 2023