Ochrana životního prostředí se věnuje stále více pozornosti, zejména se zvyšováním zákazového počasí. Inženýrství čistých pokojů je jedním z opatření na ochranu životního prostředí. Jak používat inženýrství čistého pokoje k provedení dobré práce v ochraně životního prostředí? Pojďme si promluvit o kontrole v inženýrství čistého pokoje.
Kontrola teploty a vlhkosti v čisté místnosti
Teplota a vlhkost čistých prostorů jsou stanovena hlavně na základě požadavků na procesy, ale při plnění požadavků na proces je třeba vzít v úvahu lidské pohodlí. Se zlepšením požadavků na čistotu vzduchu existuje v procesu trend přísnějších požadavků na teplotu a vlhkost.
Obecný princip se vzhledem k rostoucí přesnosti zpracování zvyšují požadavky na rozsah kolísání teploty a menší. Například v procesu litografie a expozice rozsáhlé produkce integrovaného obvodu se rozdíl v koeficientu tepelné roztažení mezi sklem a křemíkovými oplatky používanými jako maskovací materiály stává stále malým.
Křemíková destička o průměru 100 μm způsobuje lineární expanzi 0,24 μm, když teplota stoupá o 1 stupeň. Proto je nezbytná konstantní teplota ± 0,1 ℃ a hodnota vlhkosti je obecně nízká, protože po pocení bude produkt kontaminován, zejména v polovodičových seminářích, které se bojí sodíku. Tento typ workshopu by neměl překročit 25 ℃.
Nadměrná vlhkost způsobuje více problémů. Když relativní vlhkost přesáhne 55%, na stěně potrubí chladicí vody se vytvoří kondenzace. Pokud se vyskytuje v přesných zařízeních nebo obvodech, může způsobit různé nehody. Pokud je relativní vlhkost 50%, je snadné rezistovat. Kromě toho, když je vlhkost příliš vysoká, bude prach ulpívající na povrchu destičky křemíku chemicky adsorbován na povrchu molekulami vody ve vzduchu, což je obtížné odstranit.
Čím vyšší je relativní vlhkost, tím těžší je odstranit adhezi. Pokud je však relativní vlhkost pod 30%, částice jsou také snadno adsorbovány na povrchu v důsledku účinku elektrostatické síly a velké množství polovodičových zařízení je náchylné k rozdělení. Optimální teplotní rozsah pro výrobu křemíku je 35-45%.
Tlak vzduchuřízenív čisté místnosti
Pro většinu čistých prostorů, aby se zabránilo napadení vnějšího znečištění, je nutné udržovat vnitřní tlak (statický tlak) vyšší než vnější tlak (statický tlak). Udržování tlakového rozdílu by mělo obecně dodržovat následující principy:
1. Tlak v čistých prostorech by měl být vyšší než tlak v čistých prostorech.
2. tlak v prostorech s vysokou úrovní čistoty by měl být vyšší než v sousedních prostorech s nízkou úrovní čistoty.
3.. Dveře mezi čistými pokoji by měly být otevřeny směrem k pokoji s vysokou úrovní čistoty.
Údržba tlakového rozdílu závisí na množství čerstvého vzduchu, který by měl být schopen kompenzovat únik vzduchu z mezery za tohoto tlakového rozdílu. Fyzický význam tlakového rozdílu je tedy odpor úniku (nebo infiltrace) proudění vzduchu různými mezerami v čisté místnosti.
Čas příspěvku:-21-2023