1. V čistých prostorách by měly být zřízeny různé typy skladovacích a distribučních místností pro chemikálie na základě požadavků výrobního procesu a fyzikálních a chemických vlastností chemikálií. Pro dodávku požadovaných chemikálií do výrobního zařízení by mělo být použito potrubí. Skladovací a distribuční místnosti pro chemikálie v čistých prostorách se obvykle nacházejí v pomocných výrobních prostorách, obvykle v přízemí jednopatrové nebo vícepatrové budovy, v blízkosti vnější zdi. Chemikálie by měly být skladovány odděleně podle jejich fyzikálních a chemických vlastností. Nekompatibilní chemikálie by měly být umístěny v samostatných skladovacích a distribučních místnostech pro chemikálie, oddělených pevnými příčkami. Nebezpečné chemikálie by měly být skladovány v samostatných skladovacích nebo distribučních místnostech s požární odolností alespoň 2,0 hodiny mezi sousedními místnostmi. Tyto místnosti by měly být umístěny v místnosti v prvním patře výrobní budovy, v blízkosti vnější zdi.
2. Čisté prostory v elektronickém průmyslu často disponují skladovacími a distribučními místnostmi pro kyseliny a zásady, stejně jako pro hořlavá rozpouštědla. Skladovací a distribuční místnosti pro kyselinové látky obvykle obsahují skladovací a distribuční systémy pro kyselinu sírovou, kyselinu fosforečnou, kyselinu fluorovodíkovou a kyselinu chlorovodíkovou. Skladovací a distribuční místnosti pro zásady obvykle obsahují skladovací a distribuční systémy pro hydroxid sodný, hydroxidový koláč, hydroxid amonný a hydroxid tetramethylamonium. Skladovací a distribuční místnosti pro hořlavá rozpouštědla obvykle obsahují skladovací a distribuční systémy pro organická rozpouštědla, jako je isopropylalkohol (IPA). Čisté prostory v závodech na výrobu destiček integrovaných obvodů mají také skladovací a distribuční místnosti pro lešticí suspenzi. Skladovací a distribuční místnosti pro chemikálie se obvykle nacházejí v pomocných výrobních nebo podpůrných prostorách v blízkosti čistých výrobních prostor nebo v jejich sousedství, obvykle v prvním patře s přímým přístupem do venkovního prostředí.
3. Skladovací a distribuční místnosti pro chemikálie jsou vybaveny skladovacími sudy nebo nádržemi o různých objemech v závislosti na druhu, množství a charakteristikách použití chemikálií potřebných k výrobě produktu. Chemikálie by měly být v souladu s normami a předpisy skladovány odděleně a klasifikovány. Kapacita používaných sudů nebo nádrží by měla být dostatečná pro sedmidenní spotřebu chemikálií. Měly by být k dispozici také denní sudy nebo nádrže s kapacitou dostatečnou k pokrytí 24hodinové spotřeby chemikálií potřebných k výrobě produktu. Skladovací a distribuční místnosti pro hořlavá rozpouštědla a oxidační chemikálie by měly být odděleny od sousedních místností pevnými požárně odolnými stěnami s požární odolností 3,0 hodiny. Pokud jsou umístěny v prvním patře vícepodlažní budovy, měly by být od ostatních prostor odděleny nehořlavými podlahami s požární odolností nejméně 1,5 hodiny. Centralizovaná řídicí místnost pro systém chemické bezpečnosti a monitorování v čisté místnosti by měla být umístěna v samostatné místnosti.
4. Výška skladovacích a distribučních místností pro chemikálie v čistém prostoru by měla být stanovena na základě požadavků na uspořádání zařízení a potrubí a obecně by neměla být menší než 4,5 metru. Pokud se skladovací a distribuční místnost pro chemikálie nachází v pomocné výrobní oblasti čistého prostoru, měla by výška odpovídat výšce budovy.
Čas zveřejnění: 1. srpna 2025