Čistá místnost je speciální uzavřená budova postavená pro ovládání částic ve vzduchu ve vesmíru. Obecně lze říci, že čistá místnost bude také řídit faktory prostředí, jako je teplota a vlhkost, vzory pohybu vzduchu a vibrace a hluk. Z čeho tedy tvoří čistá místnost? Pomůžeme vám vyřešit pět částí:
1. kompartment
Čistý pokojový prostor je rozdělen do tří částí, změna místnosti, čisté plochy třídy 1000 a čistá oblast třídy 100. Změna místnost a čistá plocha třídy 1000 jsou vybaveny leteckými sprchy. Čistý pokoj a venkovní ploch jsou vybaveny vzduchovou sprchou. Pass Box se používá pro předměty vstupující a vystupující čisté místnosti. Když lidé vstoupí do čistého pokoje, musí nejprve projít vzduchovou sprchou, aby vyhodili prach přenášený lidským tělem a snížili prach přivedený do čisté místnosti personálem. Pass Box fouká prach z předmětů, aby se dosáhlo účinku odstranění prachu.
2. Vývojový diagram vzduchového systému
Systém používá nový systém klimatizace + FFU:
(1). Struktura čerstvé klimatizace
(2). Filtrací jednotka ventilátoru.
Filtr v čisté místnosti třídy 1000 používá HEPA, s účinností filtrace 99,997%a filtr ve třídě 100 Clean Room používá ULPA s účinností filtrace 99,9995%.
3. Vývojový diagram vodního systému
Vodní systém je rozdělen na primární a sekundární stranu.
Teplota vody na primární straně je 7-12 ℃, která je dodávána do klimatizační krabice a ventilátorové cívky, a teplota vody na sekundární straně je 12-17 ℃, která je dodávána pro suchý systém cívky. Voda na primární a sekundární straně jsou dva různé obvody, spojené výměníkem tepla destičky.
Princip výměníku tepla deska
Suchá cívka: nekondenzační cívka. Vzhledem k tomu, že teplota v semináři čištění je 22 ℃ a její teplota rosného bodu je asi 12 ℃, voda 7 ℃ nemůže přímo vstoupit do čisté místnosti. Proto je teplota vody vstupující do suché cívky mezi 12-14 ℃.
4. Řídicí systém (DDC) Teplota: Ovládání systému suchého cívky
Vlhkost: Aiftidostinger reguluje vstupní objem vody cívky klimatizace ovládáním otevření třícestného ventilu přes snímaný signál.
Pozitivní tlak: Nastavení klimatizace podle signálu snímání statického tlaku automaticky upravuje frekvenci motorového měniče klimatizace, čímž upravuje množství čerstvého vzduchu vstupujícího do čisté místnosti.
5. Ostatní systémy
Nejen klimatizační systém, systém čisté místnosti také zahrnuje vakuum, tlak vzduchu, dusík, čistou vodu, odpadní vodu, systém oxidu uhličitého, procesní výfukový systém a standardy testování:
(1). Rychlost toku vzduchu a testování uniformity. Toto testování je předpokladem pro další testovací účinek čisté místnosti. Účelem tohoto testování je objasnit průměrný tok vzduchu a uniformitu pracovní oblasti jednosměrného toku v čisté místnosti.
(2). Detekce objemu vzduchu systému nebo místnosti.
(3). Detekce vnitřní čistoty. Detekce čistoty je stanovit úroveň čistoty vzduchu, které lze dosáhnout v čisté místnosti, a k její detekci lze použít čítač částic.
(4). Detekce samočistícího času. Stanovením doby samočištění lze zjistit schopnost obnovit původní čistotu čisté místnosti, když dojde ke kontaminaci uvnitř čisté místnosti.
(5). Detekce vzoru proudu vzduchu.
(6). Detekce hluku.
(7). Detekce osvětlení. Účelem testování osvětlení je stanovit úroveň osvětlení a osvětlení uniformity čisté místnosti.
(8). Vibrační detekce. Účelem detekce vibrací je stanovit amplitudu vibrací každého displeje v čisté místnosti.
(9). Detekce teploty a vlhkosti. Účelem detekce teploty a vlhkosti je schopnost upravit teplotu a vlhkost v určitých limitch. Jeho obsah zahrnuje detekci teploty přívodního vzduchu čisté místnosti, detekce teploty vzduchu v reprezentativních měřicích bodech, detekce teploty vzduchu ve středovém bodě čisté místnosti, detekce teploty vzduchu při citlivých komponentách, detekce relativní teploty vnitřního vzduchu a detekce detekce a detekce a detekce a detekce teplota zpětného vzduchu.
(10). Detekce celkového objemu vzduchu a objemu čerstvého vzduchu.
Čas příspěvku: leden-24-2024