Protipožární zařízení jsou důležitou součástí čistého prostoru. Jeho význam není jen proto, že jeho procesní zařízení a stavební projekty jsou drahé, ale také proto, že čisté prostory jsou relativně uzavřené budovy a některé jsou dokonce dílny bez oken. Průchody čisté místnosti jsou úzké a klikaté, takže je obtížné evakuovat personál a učit palbu. Aby byla zajištěna bezpečnost životů a majetku lidí, měla by být do návrhu implementována politika požární ochrany „prevence na prvním místě, kombinace prevence a požáru“. Kromě přijetí účinných protipožárních opatření při návrhu čistého prostoru jsou také zřízena nezbytná protipožární zařízení. Výrobní vlastnosti čistých prostor jsou:
(1) Existuje mnoho přesných zařízení a nástrojů a používají se různé hořlavé, výbušné, korozivní a toxické plyny a kapaliny. Nebezpečí požáru některých výrobních dílů patří do kategorie C (jako je oxidační difúze, fotolitografie, iontová implantace, tisk a balení atd.) a některé patří do kategorie A (jako je tahání monokrystalů, epitaxe, chemická depozice par atd. .).
(2) Čistá místnost je vysoce vzduchotěsná. Jakmile dojde k požáru, bude obtížné evakuovat personál a uhasit požár.
(3) Náklady na výstavbu čistého prostoru jsou vysoké a vybavení a nástroje drahé. Jakmile vypukne požár, ekonomické ztráty budou obrovské.
Na základě výše uvedených charakteristik mají čisté prostory velmi vysoké požadavky na požární ochranu. Kromě protipožární ochrany a systému zásobování vodou by měla být instalována také pevná hasicí zařízení, zvláště cenné vybavení a nástroje v čistém prostoru je třeba pečlivě určit.
Čas odeslání: duben-11-2024