Zařízení pro ochranu proti požáru jsou důležitou součástí čisté místnosti. Jeho důležitost není jen proto, že jeho procesní vybavení a stavební projekty jsou drahé, ale také proto, že čisté pokoje jsou relativně uzavřené budovy a některé jsou dokonce bez oken. Pasáže čistého pokoje jsou úzké a klikaté, což ztěžuje evakuaci personálu a učit oheň. Aby byla zajištěna bezpečnost životů a majetku lidí, měla by být do návrhu provedena politika požární ochrany „Prevence, kombinující prevenci a požár“. Kromě účinných opatření pro prevenci požáru při navrhování čisté místnosti jsou navíc zřízeny také nezbytné zařízení pro požár. Produkční charakteristiky čistých místností jsou:
(1) Existuje mnoho přesných zařízení a nástrojů a používá se řada hořlavých, výbušných, korozivních a toxických plynů a kapalin. Nebezpečí požáru některých výrobních částí patří do kategorie C (jako je oxidační difúze, fotolitografie, implantace iontů, tisk a balení atd.) A některé patří do kategorie A (jako je tahání s jedním krystalem, epitaxy, depozice chemické páry atd. .).
(2) Čistá místnost je velmi vzduchotěsná. Jakmile vypukne oheň, bude obtížné evakuovat personál a oheň.
(3) Stavební náklady na čistou místnost jsou vysoké a vybavení a nástroje jsou drahé. Jakmile vypukne oheň, budou ekonomické ztráty obrovské.
Na základě výše uvedených charakteristik mají čisté pokoje velmi vysoké požadavky na ochranu proti požáru. Kromě systému protipožární ochrany a zásobování vodou by měla být také instalována pevná hasicí zařízení, zejména cenné vybavení a nástroje v čisté místnosti je třeba pečlivě určit.
Čas příspěvku: APR-11-2024