Protipožární zařízení jsou důležitou součástí čistých prostor. Jejich význam není jen proto, že jejich procesní zařízení a stavební projekty jsou drahé, ale také proto, že čisté prostory jsou relativně uzavřené budovy a některé jsou dokonce dílny bez oken. Průchody v čistých prostorách jsou úzké a klikaté, což ztěžuje evakuaci personálu a poučení o požáru. Aby byla zajištěna bezpečnost životů a majetku lidí, měla by být při návrhu implementována politika protipožární ochrany „prevence na prvním místě, kombinace prevence a požáru“. Kromě účinných protipožárních opatření při návrhu čistých prostor jsou také zřízena nezbytná protipožární zařízení. Výrobní charakteristiky čistých prostor jsou:
(1) Existuje mnoho přesných zařízení a přístrojů a používá se řada hořlavých, výbušných, korozivních a toxických plynů a kapalin. Nebezpečí požáru u některých výrobních dílů patří do kategorie C (jako je oxidace, difúze, fotolitografie, iontová implantace, tisk a balení atd.) a některé patří do kategorie A (jako je tahání monokrystalů, epitaxe, chemická depozice z plynné fáze atd.).
(2) Čistá místnost je vysoce vzduchotěsná. Jakmile vypukne požár, bude obtížné evakuovat personál a uhasit požár.
(3) Náklady na výstavbu čistých prostor jsou vysoké a vybavení a nástroje jsou drahé. Jakmile vypukne požár, ekonomické ztráty budou obrovské.
Na základě výše uvedených charakteristik mají čisté prostory velmi vysoké požadavky na požární ochranu. Kromě protipožární ochrany a systému zásobování vodou by měla být instalována také stabilní hasicí zařízení, zejména je třeba pečlivě vybrat cenné vybavení a nástroje v čistých prostorách.
Čas zveřejnění: 11. dubna 2024