Instalace procesního zařízení v čistém prostoru by měla být založena na návrhu a funkci čistého prostoru. Budou uvedeny následující podrobnosti.
1. Způsob instalace zařízení: Ideální metodou je uzavřít čistou místnost během instalace zařízení a mít dveře, které splňují zorný úhel zařízení, nebo rezervovat průchod pro průchod a vstup nového zařízení do čisté místnosti. Zabránit tak kontaminaci čisté místnosti v době po instalaci. Měla by být přijata ochranná opatření, aby se zajistilo, že čistá místnost i nadále splňuje požadavky na čistotu a následné práce.
2. Pokud nelze práci v čisté místnosti během každé instalace zastavit nebo pokud je třeba demontovat konstrukce, musí být provozovaná čistá místnost účinně izolována od pracovního prostoru: lze použít dočasné izolační stěny nebo přepážky. Aby se nebránilo instalačním pracím, měl by být kolem zařízení dostatek prostoru. Pokud to podmínky dovolí, přístup do izolační oblasti může být přes servisní kanály nebo jiné nekritické oblasti: pokud to není možné, měla by být přijata opatření k minimalizaci dopadu znečištění způsobeného instalačními pracemi. V izolační oblasti by měl být udržován stejný tlak nebo podtlak. Přívod čistého vzduchu by měl být ve výškové budově uzavřen, aby se zabránilo přetlaku na okolní čistou místnost. Pokud je přístup do izolační oblasti pouze přes sousední čistou místnost, měly by se k odstranění nečistot na botách použít lepicí podložky.
3. Po vstupu do oblasti ve vysoké nadmořské výšce lze použít jednorázové boty nebo návleky na boty a jednodílné pracovní oděvy, aby se zabránilo kontaminaci čisté místnosti. Tyto jednorázové předměty by měly být před opuštěním karanténní oblasti odstraněny. Měly by být vyvinuty metody pro monitorování oblasti kolem izolační oblasti během procesu instalace zařízení a měla by být stanovena četnost monitorování, aby se zajistilo, že bude detekována jakákoli kontaminace, která by mohla uniknout do sousední čisté místnosti. Po zavedení izolačních opatření lze zřídit různá potřebná veřejná servisní zařízení, jako jsou elektřina, voda, plyn, vakuum, stlačený vzduch a odpadní vody. Důraz by měl být věnován co největší kontrole a izolaci kouře a nečistot generovaných provozem, aby se zabránilo jejich neúmyslnému šíření do okolní čisté místnosti. Mělo by to také usnadnit efektivní čištění před odstraněním izolační bariéry. Poté, co veřejná servisní zařízení splní požadavky na používání, by měla být celá izolační oblast vyčištěna a dekontaminována podle předepsaných čisticích postupů. Všechny povrchy, včetně všech stěn, zařízení (pevných i pohyblivých) a podlah, by měly být vysávány, otřeny a vytřeny mopem, přičemž zvláštní pozornost by měla být věnována čištění prostor za ochrannými kryty zařízení a pod zařízením.
4. Předběžnou zkoušku výkonu zařízení lze provést na základě skutečných podmínek v čistém prostoru a nainstalovaném zařízení, ale následné přejímací zkoušky by měly být provedeny, až když jsou plně splněny podmínky čistého prostředí. V závislosti na podmínkách v místě instalace můžete začít opatrně demontovat izolační stěnu; pokud byl přívod čistého vzduchu vypnut, znovu jej spusťte; čas pro tuto fázi práce by měl být pečlivě zvolen, aby se minimalizovalo narušení běžného provozu v čistém prostoru. V této době může být nutné změřit, zda koncentrace částic ve vzduchu splňuje stanovené požadavky.
5. Čištění a příprava vnitřku zařízení a klíčových procesních komor by měly probíhat za běžných podmínek čistých prostor. Všechny vnitřní komory a všechny povrchy, které přicházejí do styku s produktem nebo jsou zapojeny do přepravy produktu, musí být otřeny na požadovanou úroveň čistoty. Postup čištění zařízení by měl probíhat shora dolů. Pokud se částice rozptýlí, větší částice dopadnou gravitací na dno zařízení nebo na zem. Vnější povrch zařízení čistěte shora dolů. V případě potřeby by měla být detekce povrchových částic prováděna v oblastech, kde jsou požadavky na produkt nebo výrobní proces kritické.
6. Vzhledem k charakteristikám čistých prostor, zejména velké ploše, vysokým investicím, vysokému výkonu a velmi přísným požadavkům na čistotu high-tech čistých prostor, je instalace výrobního zařízení v tomto typu čistých prostor podobnější instalaci v běžných čistých prostorách. Neexistují žádné specifické požadavky. Za tímto účelem vydala národní norma „Předpisy pro konstrukci a akceptaci čistých prostor“ některá ustanovení pro instalaci výrobního zařízení v čistých prostorách, včetně zejména následujících.
A. Aby se zabránilo kontaminaci nebo dokonce poškození čistých prostor (prostorů), které prošly „prázdnou“ přejímkou během procesu instalace výrobního technologického zařízení, nesmí zařízení během procesu instalace vykazovat nadměrné vibrace ani naklánění a nesmí být rozděleno a kontaminovat povrchy zařízení.
B. Aby instalace výrobního zařízení v čistém prostoru (prostoru) proběhla řádně a bez nebo s menším počtem sezení a aby se dodržoval systém řízení čisté výroby v čistém prostoru, je třeba zajistit, aby proces instalace výrobního zařízení byl chráněn v souladu s různými „hotovými výrobky“ a „polotovary“ přijatými v „prázdném stavu“. Materiály, stroje atd., které musí být použity v procesu instalace, nesmí uvolňovat ani nemohou produkovat (včetně běžného dlouhodobého provozu čistého prostoru) znečišťující látky, které jsou škodlivé pro vyráběné produkty. Měly by být použity materiály pro čisté prostory, které jsou bezprašné, bez koroze, bez mastnoty a během používání neprodukují prach.
C. Povrch budovy v čistém prostoru (prostoru) by měl být chráněn panely, fóliemi a jinými materiály pro čisté prostory; podkladová deska zařízení by měla být vyrobena v souladu s požadavky návrhu nebo technické dokumentace zařízení. Pokud neexistují žádné požadavky, měly by být použity desky z nerezové oceli nebo plastové desky. Profily z uhlíkové oceli používané pro nezávislé základy a výztuhy podlah by měly být ošetřeny antikorozně a povrch by měl být rovný a hladký; pro tmelení by měly být použity elastické těsnicí materiály.
D. Materiály by měly být označeny složením, druhy, datem výroby, dobou skladovatelnosti, pokyny k výrobní metodě a certifikáty výrobků. Stroje a nástroje používané v čistých prostorách (prostorech) nesmí být přemístěny do nečistých prostor (prostorů) za účelem použití. Stroje a nástroje používané v čistých prostorách by měly zajistit, aby exponované části stroje neprodukovaly prach, nebo by měly být přijata opatření k zabránění znečištění životního prostředí prachem. Běžně používané stroje a nástroje by měly být před přemístěním do čistých prostor vyčištěny v vzduchové komoře a měly by splňovat požadavky na bezolejové, beznečisté, bezprašné a bezrezivé vlastnosti a měly by být přemístěny po absolvování kontroly a označení cedulkou „Čisté“ nebo „Pouze čisté prostory“.
E. Zařízení pro výrobní proces v čistých prostorách (prostorech) musí být instalováno na „specifických podlahách“, jako jsou zvýšené podlahy. Základ zařízení by měl být obecně umístěn na spodním technickém mezipatře nebo na porézní cementové desce; činnosti, které je třeba demontovat pro instalaci základů. Konstrukce podlahy po řezání ruční elektrickou pilou by měla být vyztužena a její únosnost by neměla být nižší než původní únosnost. Pokud se používá nezávislý základ ocelové rámové konstrukce, měl by být vyroben z pozinkovaného materiálu nebo nerezové oceli a exponovaný povrch by měl být rovný a hladký.
F. Pokud instalace výrobního zařízení v čisté místnosti (prostoru) vyžaduje otvory ve stěnových panelech, zavěšených stropech a zdvojených podlahách, nesmí vrtací operace rozdělit ani kontaminovat povrchy stěnových panelů a zavěšených stropních panelů, které je třeba zachovat. Po otevření zdvojené podlahy, pokud nelze včas nainstalovat základy, by měly být instalovány bezpečnostní zábradlí a výstražné značky; po instalaci výrobního zařízení by měla být mezera kolem otvoru utěsněna a zařízení a těsnicí prvky by měly být v pružném kontaktu a spojení mezi těsnicím prvkem a stěnovým panelem by mělo být těsné a pevné; těsnicí plocha na jedné straně pracovní místnosti by měla být rovná a hladká.
Čas zveřejnění: 16. ledna 2024