V čisté místnosti by měl být nainstalován relativně úplný automatický řídicí systém/zařízení, což je velmi prospěšné pro zajištění normální výroby čisté místnosti a zlepšení úrovně provozu a řízení, ale investice do výstavby se musí zvýšit.
Různé typy čisté místnosti mají různé požadavky a technické parametry, včetně monitorování čistoty vzduchu, teploty a vlhkosti v čisté místnosti, monitorování tlaku v čisté místnosti, monitorování vysoce čistého plynu a čisté vody, monitorování čistoty plynu a kvality čisté vody a Rozsah a oblast čisté místnosti v různých průmyslových odvětvích se také velmi liší, takže funkce automatického řídicího systému/zařízení by měly být stanoveny podle specifických podmínek projektu čisté místnosti a měly by být navrženy do různých typů monitorovacích a řídicích systémů . Pouze čistá místnost je navržena s distribuovanými systémy řízení a monitorování počítače.
Automatický kontrolní a monitorovací systém moderní high-tech čisté místnosti reprezentované Microelectronic Clean Room je komplexní systém integrující elektrickou technologii, automatizovanou instrumentaci, počítačovou technologii a síťovou komunikační technologii. Pouze správným a přiměřeným pomocí každé technologie může systém splňovat požadované požadavky na kontrolu a dohled.
Aby se zajistily přísné požadavky na kontrolu výrobního prostředí v elektronické čisté místnosti, měly by mít kontrolní systémy veřejných energetických systémů, čisticí klimatizační systémy atd. Nejprve vysokou spolehlivost.
Za druhé, musí být otevřené různé ovládací zařízení a nástroje, aby byly splněny požadavky na síťovou kontrolu celé čisté místnosti. Produkční technologie elektronických produktů se rychle vyvíjí. Konstrukce automatického řídicího systému elektronické čisté místnosti by měl být flexibilní a škálovatelný, aby splňoval změny v požadavcích na kontrolu čisté místnosti. Distribuovaná struktura sítě má dobré rozhraní interakce s lidským počítačem, které může lépe realizovat detekci, monitorování a kontrolu produkčního prostředí a různých energetických veřejných zařízení a lze jej použít na kontrolu čisté místnosti pomocí počítačové technologie. Pokud požadavky na index parametrů čisté místnosti nejsou příliš přísné, lze pro kontrolu také použít konvenční nástroje. Bez ohledu na to, která metoda se používá, by přesnost kontroly měla splňovat požadavky na výrobu, dosáhnout stabilního a spolehlivého provozu a dosáhnout úspory energie a snižování emisí.
Čas příspěvku: 23.-20. února