1. Odstranění částic prachu v čisté místnosti bez prachu
Hlavní funkcí čisté místnosti je kontrola čistoty, teploty a vlhkosti atmosféry, které jsou produkty (jako jsou křemíkové lupínky atd.) Vystaveny, aby výrobky mohly být vyrobeny a vyrobeny v dobrém prostředí prostředí. Tento prostor nazýváme jako čistý pokoj. Podle mezinárodní praxe je úroveň čistoty určována hlavně počtem částic na krychlový metr vzduchu s průměrem větším než klasifikační standard. Jinými slovy, tzv. Bez prachu není 100% bez prachu, ale kontrolován ve velmi malé jednotce. Částice, které v tomto standardu splňují prachový standard, jsou samozřejmě ve srovnání s běžným prachem, který vidíme, samozřejmě, ale pro optické struktury bude mít i malý prach velmi velký negativní dopad, takže bez prachu je nevyhnutelný požadavek Při výrobě produktů optické struktury.
Řízení počtu prachových částic s velikostí částic větší nebo rovné 0,5 mikronů na metr krychlový až méně než 3520/krychlový metr dosáhne třídy A mezinárodního standardu bez prachu. Standard bez prachu používaný při výrobě a zpracování na úrovni čipů má vyšší požadavky na prach než třída A a takový vysoký standard se používá hlavně při výrobě některých čipů vyšších úrovní. Počet částic prachu je přísně řízen na 35 200 na metr krychlový, což je běžně známé jako třída B v průmyslu čistého pokoje.
2.. Tři druhy států čisté místnosti
Prázdná čistá místnost: Čisté místnosti, které bylo postaveno a lze jej používat. Má všechny relevantní služby a funkce. Provozovatelé v zařízení však neexistují žádné vybavení.
Statická čistá místnost: Čisté místnosti s kompletními funkcemi, správným nastavením a instalací, které lze použít podle nastavení nebo se používají, ale v zařízení nejsou žádné operátory.
Dynamic Clean Room: čistá místnost v normálním používání, s úplnými funkcemi, vybavením a personálem; V případě potřeby lze provádět normální práci.
3. ovládací položky
(1). Může odstranit prachové částice vznášející se ve vzduchu.
(2). Může zabránit tvorbě prachových částic.
(3). Kontrola teploty a vlhkosti.
(4). Regulace tlaku.
(5). Eliminace škodlivých plynů.
(6). Vzduchotěsnost struktur a kompartmentů.
(7). Prevence statické elektřiny.
(8). Prevence elektromagnetického rušení.
(9). Zvážení bezpečnostních faktorů.
(10). Zvážení úspory energie.
4. klasifikace
Turbulentní typ toku
Vzduch vstupuje do čisté místnosti z klimatizační krabice vzduchovým kanálem a vzduchovým filtrem (HEPA) v čisté místnosti a je vráceno z oddílových nástěnných panelů nebo vyvýšených podlah na obou stranách čisté místnosti. Protok vzduchu se nepohybuje lineárním způsobem, ale představuje nepravidelný turbulentní nebo vířivý stav. Tento typ je vhodný pro čistou místnost třídy 1 000-100 000.
Definice: Čistá místnost, kde proudění vzduchu teče nerovnoměrnou rychlostí a není rovnoběžná, doprovázená zpětným nebo vířivým proudem.
Princip: Turbulentní čisté místnosti se spoléhají na proud vzduchu vzduchu, aby nepřetržitě zředil vnitřní vzduch a postupně zředil znečištěný vzduch, aby se dosáhlo čistoty (turbulentní čisté místnosti jsou obecně navrženy na úrovni čistoty nad 1 000 až 300 000).
Funkce: Turbulentní čisté pokoje se spoléhají na vícenásobnou ventilaci k dosažení úrovně čistoty a čistoty. Počet změn ventilace určuje úroveň čištění v definici (čím více se mění ventilace, tím vyšší úroveň čistoty)
(1) Doba sebeopálení: odkazuje na dobu, kdy čistá místnost začne dodávat vzduch do čisté místnosti podle navrženého ventilačního čísla a koncentrace prachu v místnosti dosáhne navrženého třídy čistoty 1 000. než 20 minut (15 minut lze použít pro výpočet) Očekává se, že třída 10 000 nebude více než 30 minut (pro výpočet lze použít 25 minut) Třída 100 000 se očekává, že není více než 40 minut (30 minut lze použít výpočet)
(2) Frekvence ventilace (navržená podle výše uvedených požadavků na čas, který se čistí) 1 000: 43,5-55,3krát/hodinu (standard: 50krát/hodinu) Třída 10 000: 23,8-28,6krát/hodinu (standard: 25krát/hodinu ) třída 100 000: 14,4-19,2krát/hodina (standard: 15krát/hodinu)
Výhody: Jednoduchá struktura, nízké náklady na stavbu systému, snadné rozšíření čisté místnosti, na některých zvláštních účelch, čistá lavice bez prachu lze použít ke zlepšení třídy čisté místnosti.
Nevýhody: Částice prachu způsobené turbulencí vznášejí ve vnitřním prostoru a je obtížné je propustit, což může snadno kontaminovat procesní produkty. Kromě toho, pokud je systém zastaven a poté aktivován, často trvá dlouho, než dosáhnete požadované čistoty.
Laminární tok
Laminární průtokový vzduch se pohybuje v rovnoměrné přímce. Vzduch vstupuje do místnosti přes filtr se 100% mírou pokrytí a je vrácen přes vyvýšenou podlahu nebo rozdělovací desky na obou stranách. Tento typ je vhodný pro použití v prostředích s čistými místnostmi s vyššími stupni čistých místností, obvykle třídy 1 ~ 100. Existují dva typy:
(1) Horizontální laminární tok: Horizontální vzduch se vyfoukne z filtru v jednom směru a vráceno returkovým vzduchovým systémem na opačné stěně. Prach je vypouštěn venku se směrem vzduchu. Obecně je znečištění na straně po proudu vážnější.
Výhody: Jednoduchá struktura, může se stát stabilní v krátké době po operaci.
Nevýhody: Stavební náklady jsou vyšší než turbulentní tok a vnitřní prostor není snadné expandovat.
(2) Vertikální laminární tok: Strop místnosti je zcela pokryt filtry ULPA a vzduch je foukán shora dolů, což může dosáhnout vyšší čistoty. Prach generovaný během procesu nebo personálu může být rychle propuštěn venku, aniž by to ovlivnilo jiné pracovní oblasti.
Výhody: Snadno spravujte, stabilní stav lze dosáhnout během krátké doby po zahájení operace a nejen ovlivněn operačním stavem nebo operátory.
Nevýhody: Vysoké náklady na stavbu, obtížné flexibilně využívat prostor, stropní věšáky zabírají hodně prostoru a problematické opravy a nahrazení filtrů.
Kompozitní typ
Kompozitním typem je kombinovat nebo používat turbulentní typ toku a typ laminárního toku dohromady, který může poskytnout lokální ultračitační vzduch.
(1) Čistý tunel: Pomocí filtrů HEPA nebo ULPA pokryjte 100% procesní oblasti nebo pracovní oblasti ke zvýšení úrovně čistoty na vyšší třídu 10, což může ušetřit instalační a provozní náklady.
Tento typ vyžaduje, aby byla pracovní oblast operátora izolována z údržby produktu a stroje, aby nedošlo k ovlivnění práce a kvality během údržby stroje.
Čisté tunely mají další dvě výhody: A. Snadno se flexibilně rozšiřuje; B. Údržba zařízení lze snadno provést v oblasti údržby.
(2) Čistá trubice: Obklopujte a čistěte automatickou výrobní linku, skrze který tok produktu prochází, a zvyšuje úroveň čistoty na vyšší třídu 100. Protože produkt, obsluha a prostředí vytvářející prach, jsou od sebe izolovány malé množství, malé množství Přívod vzduchu může dosáhnout dobré čistoty, která může ušetřit energii a je nejvhodnější pro automatizované výrobní linky, které nevyžadují manuální práci. Platí to na farmaceutický, potravinářský a polovodičový průmysl.
(3) Čisté místo: Úroveň čistoty v oblasti produktového procesu v turbulentní čisté místnosti s úrovní čisté místnosti 10 000 ~ 100 000 se zvýší na 10 ~ 1000 nebo vyšší pro výrobní účely; Do této kategorie patří čisté pracovní stoly, čisté přístřešky, prefabrikované čisté místnosti a čisté skříně.
Čistá lavička: třída 1 ~ 100.
Čistý stánek: Malý prostor obklopený antistatickým průhledným plastovým látkou v turbulentním prostoru čistého pokoje pomocí nezávislého HEPA nebo ULPA a klimatizačních jednotek, aby se stal čistým prostorem na vyšší úrovni, s úrovní 10 ~ 1000, výškou asi 2,5 metry a oblast pokrytí asi 10 m2 nebo méně. Má čtyři sloupy a je vybaven pohyblivými koly pro flexibilní použití.
5. Protok proudění vzduchu
Význam proudu vzduchu
Čistota čisté místnosti je často ovlivněna proudem vzduchu. Jinými slovy, pohyb a difúze prachu generovaného lidmi, strojovými kompartmenty, stavebními strukturami atd. Jsou ovládány proudem vzduchu.
Čistá místnost používá k filtrování vzduchu HEPA a ULPA a jeho rychlost sběru prachu je až 99,97 ~ 99,99995%, takže vzduch zfiltrovaný tímto filtrem lze říci, že je velmi čistý. Kromě lidí však v čisté místnosti existují také prachové zdroje, jako jsou stroje. Jakmile se tyto generované prachy rozšíří, není možné udržovat čistý prostor, takže k rychlému vypouštění generovaného prachu venku musí být použit proudění vzduchu.
Ovlivňující faktory
Existuje mnoho faktorů, které ovlivňují proudění vzduchu čisté místnosti, jako je procesní vybavení, personál, materiály pro montáž čistých pokojů, svítidla atd. Současně by se také mělo být převzato do odklonu nad výrobním zařízením nad výrobním zařízením zvážení.
Bod odklonu vzduchu na povrchu obecného operačního stolu nebo výrobního zařízení by měl být nastaven na 2/3 vzdálenosti mezi prostorem čistého místnosti a rozdělovací deskou. Tímto způsobem, když operátor pracuje, může proudění vzduchu proudit zevnitř procesní oblasti do operační oblasti a odstranit prach; Pokud je bod odklonu nakonfigurován před procesní oblastí, stane se nesprávným odklonem proudění vzduchu. V této době bude většina proudění vzduchu proudit do zadní části procesní oblasti a prach způsobený provozem operátora bude přenesen na zadní stranu zařízení a pracovní stůl bude kontaminován a výnos se nevyhnutelně sníží.
Překážky, jako jsou pracovní stoly v čistých místnostech, budou mít na křižovatce vířivé proudy a čistota v jejich blízkosti bude relativně špatná. Vrtání zpětného vzduchového otvoru na pracovním stole minimalizuje fenomén vířivého proudu; Zda je vhodný výběr montážních materiálů a zda je rozložení zařízení perfektní, jsou také důležitými faktory, zda se proudění vzduchu stává vířivým proudem.
6. Složení čisté místnosti
Složení čisté místnosti se skládá z následujících systémů (z nichž žádný není v systémových molekulách nezbytný), jinak nebude možné vytvořit úplnou a vysoce kvalitní čistou místnost:
(1) Stropní systém: včetně stropní tyče, I-paprsku nebo paprsku U, stropní mřížky nebo stropního rámu.
(2) Systém klimatizace: včetně vzduchové kabiny, filtračního systému, větrný mlýn atd.
(3) Oddílná stěna: včetně oken a dveří.
(4) Podlaha: včetně zvýšené podlahy nebo antistatické podlahy.
(5) Osvětlovací svítidla: LED čištění ploché lampy.
Hlavní struktura čisté místnosti je obecně vyrobena z ocelových tyčí nebo kostního cementu, ale bez ohledu na to, jaký je struktura, musí splňovat následující podmínky:
A. V důsledku změn teploty a vibrací nevyskytují žádné trhliny;
B. Není snadné produkovat prachové částice a je obtížné, aby se částice připojily;
C. nízká hygroskopita;
D. Aby bylo možné udržovat podmínky vlhkosti v čisté místnosti, musí být tepelná izolace vysoká;
7. Klasifikace pomocí
Průmyslová čistá místnost
Objekt je kontrola neživotních částic. Řídí hlavně znečištění částic vzduchového prachu na pracovní objekt a interiér obecně udržuje stav pozitivního tlaku. Je vhodný pro odvětví přesných strojů, elektronický průmysl (polovodiče, integrované obvody atd.), Aerospace, chemický průmysl s vysokým čistotem, průmysl atomové energie, optický a magnetický produktový průmysl (CD, film, produkce pásky) LCD (tekutý krystalový krystaly (tekutý krystaly) sklo), pevný disk, výroba hlavy počítače a další průmyslová odvětví.
Biologická čistá místnost
Hlavně řídí znečištění živých částic (bakterií) a neživých částic (prach) na pracovní objekt. Lze to rozdělit do;
A. Obecná biologická čistá místnost: Hlavně ovládá znečištění mikrobiálních (bakteriálních) objektů. Současně musí být jeho vnitřní materiály schopny odolat erozi různých sterilizačních látek a interiér obecně zaručuje pozitivní tlak. Vnitřní materiály musí být v podstatě schopny odolat různým sterilizačním ošetřením průmyslové čisté místnosti. Příklady: Farmaceutický průmysl, nemocnice (operační sály, sterilní oddělení), jídlo, kosmetika, výroba nápojů, laboratoře pro zvířata, fyzikální a chemické testovací laboratoře, krevní stanice atd.
B. Biologická bezpečnost Čistá místnost: Hlavně ovládá znečištění živých částic pracovního objektu vůči vnějšímu světu a lidem. Vnitřní tlak musí být udržován negativní s atmosférou. Příklady: Bakteriologie, biologie, čisté laboratoře, fyzické inženýrství (rekombinantní geny, příprava vakcíny)
Čas příspěvku: únor-07-2025